池田屋ULVAC爱发科多级罗茨干泵HR90参数介绍

池田屋ULVAC爱发科多级罗茨干泵HR90参数介绍

池田屋ULVAC爱发科多级罗茨干泵HR90参数介绍

HR90 中型高温防腐多级罗茨干泵，50Hz 抽速 112m³/h，泵腔恒温 120~150℃防止蚀刻粉尘凝结，内腔防腐涂层耐受卤素腐蚀气体。屏蔽电机氮气密封无返油，水冷配备毫秒级断电保护与远程通讯，主要用作 6/8 寸半导体刻蚀、CVD、ALD 设备前级泵，适配中型腐蚀工艺腔体，维护周期长、适配连续量产。

核心技术参数（50Hz）抽速：112m³/h；60Hz 工况 126m³/h极限真空：≤5Pa，

大气压极 限真空连续运行电机功率：3.7kW，

三相 AC200V，稳态电流 11.2A

管路接口：吸气 VG80 (KF50)，

排气 KF40冷却：水冷，冷却水 0.1~0.3MPa

吹扫配置：轴封氮气 5SLM，气镇 0~45SLM

可调整机重量：245kg配套功能：运行参数监测、故障履历存储、断电防废气倒灌回流保护